當(dāng)前位置:艾博納微納米科技(江蘇)有限責(zé)任公司>>儀器設(shè)備>>二維材料轉(zhuǎn)移臺(tái)>> 晶圓轉(zhuǎn)移臺(tái)
晶圓轉(zhuǎn)移臺(tái)的產(chǎn)品特點(diǎn):
1.高精度定位:通過(guò)精密的絲桿和皮帶傳動(dòng),實(shí)現(xiàn)100-200納米的定位精度。
2.穩(wěn)定性與可靠性:結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)考慮減少外部振動(dòng)和熱膨脹的影響保證長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行的穩(wěn)定性和可靠性。
3.易于操作:友好的用戶界面和控制邏輯,操作簡(jiǎn)單直觀,非專業(yè)人員也能快速上手。
4.兼容性:能夠與各種實(shí)驗(yàn)設(shè)備和測(cè)量?jī)x器配合使用,如拉曼光譜儀、掃描探針顯微鏡等。
5.定制化和擴(kuò)展性:增加了額外的Z軸來(lái)實(shí)現(xiàn)三維移動(dòng),根據(jù)不同的應(yīng)用需求,轉(zhuǎn)移臺(tái)還可以定制不同的尺寸、行程、載重等參數(shù)。
晶圓轉(zhuǎn)移臺(tái)的產(chǎn)品配件:
1.控制系統(tǒng)
•手動(dòng)控制器/界面:用于手動(dòng)輸入移動(dòng)命令,控制樣品的位置和速度。
•半自動(dòng)控制軟件:配備商用軟件用于輔助控制樣品的移動(dòng),提供界面進(jìn)行精確的位置設(shè)置。
2.機(jī)械結(jié)構(gòu)
•樣品臺(tái):承載樣品,可以沿X軸、Y軸、Z軸移動(dòng)。
•導(dǎo)軌和滑塊:保證移動(dòng)平臺(tái)的平穩(wěn)和精確移動(dòng)。
•電動(dòng)升降臺(tái):確保平臺(tái)沿Z軸的穩(wěn)定精確升降
3.傳動(dòng)系統(tǒng)
•步進(jìn)電機(jī):用于驅(qū)動(dòng)移動(dòng)平臺(tái),實(shí)現(xiàn)精確控制。
•絲桿和皮帶傳動(dòng):將電機(jī)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換為平臺(tái)的線性移動(dòng)。
4.傳感器
•位置傳感器:用于監(jiān)測(cè)和控制平臺(tái)的確切位置。
•限位開(kāi)關(guān):防止平臺(tái)超出其最大行程范圍。
5.樣品固定裝置
•真空吸盤(pán)和夾具:用于穩(wěn)固地固定樣品,防止移動(dòng)過(guò)程中的移位或損壞。
6.電源和接線
•電源單元:為控制系統(tǒng)和電機(jī)提供穩(wěn)定的電源。
•接線和連接器:確保電源和控制信號(hào)的穩(wěn)定傳輸。
7.安全裝置
•緊急停止按鈕:用于在緊急情況下立即停止所有運(yùn)動(dòng),確保操作安全。
•外殼:保護(hù)操作人員免受移動(dòng)部件傷害,防止塵埃和雜物進(jìn)入設(shè)備內(nèi)部。
8.附件和可選組件
•顯示器或指示燈:提供操作反饋和系統(tǒng)狀態(tài)指示。
•定制夾具:根據(jù)特定樣品的形狀和大小定制的夾具。